特許
J-GLOBAL ID：200903006131342938

圧電体素子駆動機構

発明者：
中 本 圭 一

中 本 圭 一 について

, 
山 崎 仁 嗣

山 崎 仁 嗣 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157068
公開番号（公開出願番号）：特開2000-350478
出願日： 1999年06月03日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 単一のスキャナで、すべての観察範囲に対応できる圧電体素子駆動機構を提供すること。【解決手段】 凹凸の大きい試料を広範囲にわたって観察する場合には、xスイッチ7は端子8に、yスイッチ12は端子13に、zスイッチ17は端子18にそれぞれ接続される。このような接続のスキャナは、分解能は低いが最大変位量は大きく、凹凸の大きい試料を広範囲にわたって観察する場合には非常に適している。一方、原子像などの狭範囲観察を行う場合には、xスイッチ7は端子9に、yスイッチ12は端子14に、zスイッチ17は端子19にそれぞれ接続される。このような接続のスキャナは、最大変位量は小さいが分解能は高く、原子像などの狭範囲観察を行う場合には非常に適している。
請求項（抜粋）：
円筒状の圧電体素子の内側に形成された内側電極と、前記圧電体素子の外側に形成された外側電極間に電圧を印加して、前記圧電体素子をある軸方向に変位させるようにした圧電体素子駆動機構において、前記外側電極を、前記圧電体素子の軸方向に分割して形成し、該分割された電極と前記内側電極間に電圧を印加するようにしたことを特徴とする圧電体素子駆動機構。
IPC (3件)：
H02N 2/00 ,  G01N 37/00 ,  G01B 21/30
FI (4件)：
H02N 2/00 B ,  G01N 37/00 T ,  G01N 37/00 U ,  G01B 21/30 Z
Fターム (11件)：
2F069AA02 ,  2F069AA04 ,  2F069AA06 ,  2F069DD19 ,  2F069GG06 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069LL06 ,  2F069MM02 ,  2F069MM04 ,  2F069MM32
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 特開平2-081487
  • 特開平2-262001
  • プローブ制御装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-299868   出願人：シャープ株式会社
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