プローブ制御装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-299868
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133039
出願日： 1997年10月31日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】プローブと試料との間隔を微少調整するには、大変な熟練と手間と時間を要した。特に試料室を真空状態や特殊なガス雰囲気にするときは、何回も大気に開放して、部品交換等をするため、更に手間や費用を要した。【解決手段】プローブと試料との間隔を、移動させたい距離に応じて、多段アクチュエータの圧電素子からなる複数の伸縮部に設けられた複数の微動部を、各々の微動部が独自に動作する構成としている。さらに、上記伸縮部により気密室を形成できる構造としているため、試料を希望する安定した雰囲気で測定可能となる。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡等に用いられるプローブ制御装置において、プローブ先端と試料表面との目標距離を、電気信号に変換した基準信号を出力する基準信号発生部と、上記基準信号発生部から出力される基準信号と、上記プローブ先端と上記試料表面との実際の距離を、電気信号に変換した比較信号との差異を演算する演算部と、上記プローブを移動させる複数の伸縮部を備えた多段アクチュエータと、上記演算部の出力にもとづいて、上記複数の伸縮部を駆動させる駆動信号を生成する信号生成部と、を備え、上記駆動信号により、上記プローブ先端が上記目標距離に到達するまで、上記複数の伸縮部をそれぞれ個別に駆動することを特徴とするプローブ制御装置。

IPC (4件)：

G01N 37/00 , G01B 9/04 , H01L 41/09 , H02N 2/00

FI (4件)：

G01N 37/00 A , G01B 9/04 , H02N 2/00 B , H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

情報記録再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-266300 出願人：キヤノン株式会社
特開平2-262001
特公平7-062603

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