特許
J-GLOBAL ID：200903006171075860
角速度センサ及びその調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-124745
公開番号（公開出願番号）：特開平11-351874
出願日： 1998年05月07日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 音叉形状若しくは複数の音叉を組み合わせた形状の圧電体からなる振動子を用いて角速度を検出する角速度センサにおいて、振動子の不要振動に伴い生じる検出信号のオフセット及びその温度ドリフトを低減する。【解決手段】 圧電体からなる音叉形状の振動子2を備えた角速度センサにおいて、自励発振回路40を介して振動子2を駆動軸方向に自励振動させ、そのとき(角速度非入力時)に検出回路50を介して得られる検出信号(オフセット)が小さくなるように、振動子2の振動特性に大きな影響を与える振動子2の根元付近の稜線をトリミングする。またトリミングする稜線は、振動子2の実際の振動状態を表す基準信号Vrと検出信号とをロックインアンプ60に入れて、検出信号の基準信号Vrに対する位相関係を検出することにより決定する。この結果、振動子2の振動特性を効率よく調整でき、且つ、角速度を高精度に検出できる角速度センサを実現できる。
請求項（抜粋）：
角柱状に形成され互いに平行に配置された少なくとも一対のアーム部と各アーム部を連結する連結部とにより形成された圧電体からなり、外壁面に、少なくとも、外部から交流電圧を受けて前記各アーム部を各アーム部の配列方向である駆動軸方向に励振する駆動電極、及び、各アーム部において前記駆動軸とは直交する検出軸方向に生じる振動を検出する一対の検出電極、が形成された振動子を備えた角速度センサにおいて、前記連結部から前記各アーム部が突出される記振動子の根元付近に、振動特性調整用の凹凸が形成されていることを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
