特許
J-GLOBAL ID：200903006184545393

蛍光X線膜厚計

発明者：
佐藤 正雄

佐藤 正雄 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-108509
公開番号（公開出願番号）：特開2002-107134
出願日： 2001年04月06日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：
【要約】【課題】 非破壊・非接触の特徴を有する蛍光X線膜厚計で正確な計測を実現すること。【解決手段】 X線発生源と,一次X線を絞るための手段と,微小部分の位置決め・観察用の試料観察光学系と,膜厚測定手段として試料から発生する蛍光X線の検出器として,一つは計数効率は小さいがエネルギー分解能の優れたセンサーを低エネルギー計数用として,もう一つはエネルギー分解能は悪いが計数効率の優れたセンサーを高エネルギー計数用として並置させて、検出器の後段プリアンプの後も、個別のリニアアンプ,波高分析器からなり,それぞれの波高データを共通の制御・演算部で定性用・定量用スペクトルとして処理する構成からなる。
請求項（抜粋）：
蛍光X線を励起するための高圧電源、X線管球からなるX線発生系と、X線発生系から出射される一次X線をスリット、コリメータあるいは全反射現象を利用するキャピラリー等による微小部に絞る手段と、測定領域が微小部ゆえに測定位置の位置決めのための試料観察光学系と、目的試料から発生する蛍光X線を検出する為に、計数効率は小さいがエネルギー分解能の優れた第1のセンサーとして液化窒素レスで操作性の優れたPINダイオード検出器あるいはシリコンドリフトチェンバーと、エネルギー分解能は悪いが前記第1のセンサーに比べて高エネルギーに対して計数効率の優れた第2のセンサーとして比例計数管、CdZnTe検出器やシンチレーションカウンターを真空排気をしない大気開放型の試料室に並置させる。低エネルギーからの蛍光X線は前記第1のセンサーを適用し、高エネルギーからの蛍光X線は前記第2のセンサーを適用することにより、蛍光X線のエネルギーに応じて2種類の検出器を割り当てるシステムとし、各検出器の後段は個別のプリアンプ、リニアアンプ、波高分析器からなり、共通の制御・演算部で定量処理するように構成したことを特徴とする蛍光X線膜厚計。
IPC (4件)：
G01B 15/02 ,  G01T 1/36 ,  G21K 1/02 ,  G21K 1/06
FI (4件)：
G01B 15/02 D ,  G01T 1/36 A ,  G21K 1/02 R ,  G21K 1/06 G
Fターム (19件)：
2F067AA27 ,  2F067BB18 ,  2F067HH04 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK01 ,  2F067LL13 ,  2F067LL14 ,  2F067LL19 ,  2F067QQ09 ,  2F067RR02 ,  2F067UU02 ,  2F067UU32 ,  2G088EE29 ,  2G088FF03 ,  2G088FF15 ,  2G088GG01 ,  2G088GG09 ,  2G088GG21 ,  2G088KK01
引用特許：
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM