特許
J-GLOBAL ID：200903048699628466

蛍光X線膜厚計

発明者：
佐藤 正雄

佐藤 正雄 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-217046
公開番号（公開出願番号）：特開2002-031522
出願日： 2000年07月18日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：
【要約】【課題】 非破壊・非接触の特徴を有する蛍光X線膜厚計で正確な計測を実現すること。【解決手段】 X線発生源と、一次X線を絞るためのコリメーターと、微小部分の位置決め・観察用の試料観察光学系と、膜厚測定手段として試料から発生する蛍光X線の検出器として、一つは計数効率は小さいがエネルギー分解能の優れたセンサーを低エネルギー計数用として、もう一つはエネルギー分解能は悪いが計数効率の優れたセンサーを高エネルギー計数用として並置させて、検出器の後段プリアンプの後も、個別のリニアアンプ、波高分析器からなり、それぞれの波高データを共通の制御・演算部で定性用・定量用スペクトルとして処理する構成からなる。
請求項（抜粋）：
蛍光X線を励起するための高圧電源、X線管球からなるX線発生系と、X線発生系から出射される一次X線をスリット、コリメータあるいは全反射現象を利用するキャピラリー等による微小部に絞る手段と、微小部測定領域の測定に用いる位置決め用試料観察光学系と、目的試料から発生する蛍光X線を検出する為に、計数効率は小さいがエネルギー分解能の優れた第1のセンサーとして用いられる液化窒素レスで操作性の優れたPINダイオードX線検出器あるいはシリコンドリフトチェンバーと、エネルギー分解能は悪いが前記第1のセンサーに比べて高エネルギーに対して計数効率の優れた第2のセンサーとして比例計数管、CdZnTe検出器やシンチレーションカウンターを真空排気をしない大気開放型の試料室に並置させて、低エネルーからの蛍光X線に対しては前記第1のセンサーを適用し、高エネルギーからの蛍光X線に対しては前記第2のセンサーを適用することにより、蛍光X線のエネルギーに応じて2種類の検出器を割り当てるシステムとし、各検出器の後段は個別のプリアンプ、リニアアンプ、波高分析器からなり、共通の制御・演算部で定量処理するように構成したことを特徴とする蛍光X線膜厚計。
IPC (2件)：
G01B 15/02 ,  G01N 23/223
FI (2件)：
G01B 15/02 D ,  G01N 23/223
Fターム (30件)：
2F067AA27 ,  2F067BB18 ,  2F067EE04 ,  2F067HH04 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK01 ,  2F067LL02 ,  2F067LL13 ,  2F067LL14 ,  2F067LL19 ,  2F067QQ07 ,  2F067QQ09 ,  2F067RR02 ,  2F067UU02 ,  2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA06 ,  2G001DA10 ,  2G001EA03 ,  2G001GA01 ,  2G001HA09 ,  2G001JA06 ,  2G001KA09 ,  2G001KA11 ,  2G001NA11 ,  2G001NA13 ,  2G001NA17 ,  2G001SA02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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