特許
J-GLOBAL ID:200903048699628466
蛍光X線膜厚計
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
坂上 正明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-217046
公開番号(公開出願番号):特開2002-031522
出願日: 2000年07月18日
公開日(公表日): 2002年01月31日
要約:
【要約】【課題】 非破壊・非接触の特徴を有する蛍光X線膜厚計で正確な計測を実現すること。【解決手段】 X線発生源と、一次X線を絞るためのコリメーターと、微小部分の位置決め・観察用の試料観察光学系と、膜厚測定手段として試料から発生する蛍光X線の検出器として、一つは計数効率は小さいがエネルギー分解能の優れたセンサーを低エネルギー計数用として、もう一つはエネルギー分解能は悪いが計数効率の優れたセンサーを高エネルギー計数用として並置させて、検出器の後段プリアンプの後も、個別のリニアアンプ、波高分析器からなり、それぞれの波高データを共通の制御・演算部で定性用・定量用スペクトルとして処理する構成からなる。
請求項(抜粋):
蛍光X線を励起するための高圧電源、X線管球からなるX線発生系と、X線発生系から出射される一次X線をスリット、コリメータあるいは全反射現象を利用するキャピラリー等による微小部に絞る手段と、微小部測定領域の測定に用いる位置決め用試料観察光学系と、目的試料から発生する蛍光X線を検出する為に、計数効率は小さいがエネルギー分解能の優れた第1のセンサーとして用いられる液化窒素レスで操作性の優れたPINダイオードX線検出器あるいはシリコンドリフトチェンバーと、エネルギー分解能は悪いが前記第1のセンサーに比べて高エネルギーに対して計数効率の優れた第2のセンサーとして比例計数管、CdZnTe検出器やシンチレーションカウンターを真空排気をしない大気開放型の試料室に並置させて、低エネルーからの蛍光X線に対しては前記第1のセンサーを適用し、高エネルギーからの蛍光X線に対しては前記第2のセンサーを適用することにより、蛍光X線のエネルギーに応じて2種類の検出器を割り当てるシステムとし、各検出器の後段は個別のプリアンプ、リニアアンプ、波高分析器からなり、共通の制御・演算部で定量処理するように構成したことを特徴とする蛍光X線膜厚計。
IPC (2件):
FI (2件):
G01B 15/02 D
, G01N 23/223
Fターム (30件):
2F067AA27
, 2F067BB18
, 2F067EE04
, 2F067HH04
, 2F067JJ03
, 2F067KK01
, 2F067LL02
, 2F067LL13
, 2F067LL14
, 2F067LL19
, 2F067QQ07
, 2F067QQ09
, 2F067RR02
, 2F067UU02
, 2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA06
, 2G001DA10
, 2G001EA03
, 2G001GA01
, 2G001HA09
, 2G001JA06
, 2G001KA09
, 2G001KA11
, 2G001NA11
, 2G001NA13
, 2G001NA17
, 2G001SA02
引用特許: