レベリング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029290
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211450
出願日： 1998年01月27日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、載置部材の運動規制機構を単純化することで、製造が簡便、原価の低減、精度の良いレベリングを行えるレベリング装置を提供することにある。【解決手段】載置部材6を三点で支持する支持手段を有し、第一支持部8は、載置部材6を一定距離に、任意の方向に傾き可能に支持し、第二、第三支持部10、12は、基板4上面に設けられたスライダと、載置部材6下面に設けられたコロと、該スライダをスライド移動させる駆動部より構成され、被載置物の姿勢を所望のものとさせ得ることが可能で、第一支持部8及び第二、第三支持部10、12の中点を通る軸線上で基板4と載置部材6の間に設けられ、基板4に対し載置部材6を上下動自在かつ前記軸線回り方向に回動自在に保持し、該軸線の基板4と平行面上での回転を規制する規制手段を設けていることを特徴とするレベリング装置。

請求項（抜粋）：

基板と、被載置物を載置する載置部材と、該基板と該載置部材の間に介在され、かつ載置部材を、基板に対して三点で支持する支持手段と、被載置物の基板に対する姿勢を検出する検出手段と、被載置物の姿勢が検出手段により検出された際に、その検出結果に基づき被載置物の姿勢を変化させる制御手段を有し、該支持手段は、第一、第二、第三の支持部からなり、第一支持部は、載置部材を、基板に対して一定距離に、かつ任意の方向に傾き可能に支持し、第二、第三支持部は、前記基板上面にスライド移動可能に設けられた、上面にのみ斜面を有するスライダと、前記載置部材下面に設けられ前記スライダ斜面を転がり移動可能なコロと、該スライダをスライド移動させる駆動部より構成され、基板に対して、載置部材を互いに独立可変に支持し、前記第二、第三支持部は、前記駆動部がスライダをスライド移動させることで、コロとスライダとの当接位置が変化し、それによって、支持部における該載置部材と該基板の間隔が変化することで該基板に対する載置部材の姿勢を所望のものとさせ得ることが可能に構成され、前記第一支持部を通り、かつ前記第二、第三支持部中点を通る軸線上であって、前記基板と載置部材の間に設けられ、基板に対し載置部材を上下動自在かつ前記軸線回り方向に回動自在に保持し、該軸線の基板と平行面上での回転を規制する規制手段を設けていることを特徴とするレベリング装置。

IPC (2件)：

G01B 21/00 , G12B 5/00

FI (2件)：

G01B 21/00 L , G12B 5/00 T

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平4-289061
ステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-169187 出願人：ウシオ電機株式会社

審査官引用 (2件)

特開平4-289061
ステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-169187 出願人：ウシオ電機株式会社

前のページに戻る