特許

J-GLOBAL ID：200903006275140825

二次荷電粒子検出器および集束イオンビーム装置

発明者： 杉山 安彦 ,  児玉 俊男 ,  高木 健一郎
出願人/特許権者： セイコー電子工業株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-240131
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094132
出願日： 1993年09月27日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 絶縁アンプを用いること無く、粒子取り込み口に印加する電圧の極性を切り換えるだけで、二次電子検出または二次イオン検出の切り換えが可能で、かつ利得特性の劣化無しに長時間使用可能な二次荷電粒子検出器を提供する。【構成】 集束イオンビーム装置で使用する二次荷電粒子検出器を、チャネル型電子増倍管16〜18、シンチレーター9、ライトガイド10、光電子増倍管11で構成する。【効果】 チャネル型電子増倍管の利得を比較的低く設定し、光電子増倍管の利得を高く設定して使用することで、チャネル型電子増倍管の利得特性の劣化が始まるまでの使用時間を延ばすことができる。

請求項（抜粋）：

集束イオンビーム装置で使用する二次荷電粒子検出器を、チャネル型電子増倍管、シンチレーター、ライトガイド、光電子増倍管で構成し、二次電子を検出する時はチャネル型電子増倍管の粒子取り込み口電極に正の高電圧を印加し、二次イオンを検出する時はチャネル型電子増倍管の粒子取り込み口電極に負の高電圧を印加し、チャネル型電子増倍管の出力をシンチレータで受け、その発光をライトガイドにより光電子増倍管に導き電気信号に変換することを特徴とする二次荷電粒子検出器。

IPC (2件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/256

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-066842
  
• 2次電子検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-027992   出願人：日本電子株式会社
• 特開平2-001849