ポジ型レジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルターの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久保山隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-192139
公開番号（公開出願番号）：特開平6-035182
出願日： 1992年07月20日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】解像度及び耐熱性等の諸性能に優れたポジ型レジスト組成物、並びに耐溶剤性及び微細度等の諸性能に優れたカラーフィルターを容易に製造する方法を提供する。【構成】熱硬化性樹脂、キノンジアジド化合物、架橋剤、色素及び溶剤を含有してなるポジ型レジスト組成物、並びに該ポジ型レジスト組成物を基体上に塗布後、マスクを通して露光し、該露光部を現像してポジ型レジストパターンを形成させ、上記ポジ型レジストパターンを全面露光し、次いで露光後のポジ型レジストパターンを硬化させることからなるカラーフィルターの製造方法。

請求項（抜粋）：