特許

J-GLOBAL ID：200903006338380503

慣性センサ

発明者： 徳永 博司 ,  永田 憲治 ,  小野 正明 ,  花澤 敏夫 ,  石川 寛
出願人/特許権者： 富士通メディアデバイス株式会社 ,  富士通株式会社
代理人 (2件)： 林 恒徳 ,  土井 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-205179
公開番号（公開出願番号）：特開2006-029827
出願日： 2004年07月12日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

【課題】3次元的に可動な可動部を備える加速度センサやジャイロなどの慣性センサについても耐衝撃性を向上させることを可能とし、同時に小型・低背化を実現出来る構成を有する慣性センサを提供する。【解決手段】固定部と、前記固定部より所定の大きさ分の高さの低い錘部と、前記錘部と前記固定部とを繋ぐ梁部を有するセンサ部と、前記錘部を覆い、前記錘部と所定の大きさの空隙を有して、前記固定部に固着された板状の第1のストッパ部と、前記第1のストッパ部と反対側面に、所定の高さのバンプを介して前記固定部と接続された平面板状の第2のストッパ部を有する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

固定部と、前記固定部より所定の大きさ分の高さの低い錘部と、前記錘部と前記固定部とを繋ぐ梁部を有するセンサ部と、 前記錘部を覆い、前記錘部と所定の大きさの空隙を有して、前記固定部に固着された板状の第1のストッパ部と、 前記第1のストッパ部と反対側面に、所定の高さのバンプを介して前記固定部と接続された平面板状の第2のストッパ部を 有することを特徴とする慣性センサ。

IPC (6件)：

G01P 15/12 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84 ,  G01P 15/18

FI (6件)：

G01P15/12 D ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  G01P15/125 Z ,  H01L29/84 A ,  G01P15/00 K

Fターム (28件)：

2F105AA02 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105BB12 ,  2F105BB13 ,  2F105BB14 ,  2F105CC04 ,  2F105CC11 ,  2F105CD01 ,  2F105CD03 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA29 ,  4M112CA33 ,  4M112CA34 ,  4M112DA03 ,  4M112DA08 ,  4M112DA12 ,  4M112DA13 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112EA13 ,  4M112FA07 ,  4M112FA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 容量式加速度センサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-366827   出願人：三菱電機株式会社

審査官引用 (1件)

• 特開平3-067177