容量式加速度センサ及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-366827
公開番号（公開出願番号）：特開2000-187041
出願日： 1998年12月24日
公開日（公表日）： 2000年07月04日
要約：

【要約】【課題】落下等により可動部が破損したり、加速度の測定ができなくなる恐れのない容量式加速度センサ及びその製造方法を得る。【解決手段】一対の固定電極2A、3Aと、これらの間に配設された質量体4Aa、梁(図示せず)及び該梁を介して質量体4Aaを可動可能に支持するアンカー(図示せず)にて構成され可動電極4Aと、外枠5Aが形成されたシリコン基板1Aと、シリコン基板1Aの両主面に陽極接合された一対のガラス基板6A、7Aとを備え、質量体4Aaとガラス基板6A、7Aとの間にはそれぞれ隙間XA、YAが形成されており、質量体4Aaの両主面の少なくとも一方側における質量体4Aa及び一対のガラス基板6A、7Aの対向面の少なくとも一方に、これらの衝突を緩衝する緩衝材としてアルミニウム層8を蒸着させた。

請求項（抜粋）：

一対の固定電極間に配設された可動部を有する可動電極と、該可動部にそれぞれ隙間を介して対向配設された一対の保護カバーとを備えた容量式加速度センサにおいて、前記一対の保護カバーの前記可動部との対向面の少なくとも一方、若しくは前記可動部の前記一対の保護カバーとの対向面の少なくとも一方に、前記可動部と前記保護カバーとの衝突を緩衝する緩衝材が被着されていることを特徴とする容量式加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/125 , H01L 21/308 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01P 15/125 , H01L 21/308 B , H01L 29/84 Z

Fターム (23件)：

4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA24 , 4M112CA25 , 4M112CA26 , 4M112CA34 , 4M112CA36 , 4M112DA04 , 4M112DA05 , 4M112DA08 , 4M112DA18 , 4M112DA20 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA13 , 4M112FA07 , 4M112GA01 , 5F043AA02 , 5F043BB02 , 5F043CC05 , 5F043FF01 , 5F043GG04

引用特許：

審査官引用 (9件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-308459 出願人：株式会社村田製作所
半導体力学量センサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-139643 出願人：日本電装株式会社
半導体センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-079515 出願人：日本精機株式会社

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