特許
J-GLOBAL ID：200903006375060411
圧電アクチュエータ、これを用いた液滴吐出ヘッド、及び圧電アクチュエータの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 有古特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-260735
公開番号（公開出願番号）：特開2009-094120
出願日： 2007年10月04日
公開日（公表日）： 2009年04月30日
要約：
【課題】積層する圧電層の枚数を減らすことで製造コストが抑えられた圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】駆動側端子電極27と配線部材4の電極用端子28とをその間にハンダを介在させた状態で互いに接合する圧電アクチュエータ1は、複数の内部電極を有した圧電層が積層されてなり、その最上圧電層19に表層スルーホール29を列方向に沿って略一列に配設し、駆動側端子電極27と電極用端子28とが接続されたときに、表面個別電極20のうち、余剰のハンダが長手方向に沿って広がる領域を部分的に厚肉部37とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
表側面に複数の表面個別電極が列状に設けられ、当該各表面個別電極に接続する複数の駆動側端子電極を有する配線部材と接合するための最上圧電層と、
この最上圧電の裏面側で積層された複数の圧電層と、
前記複数の圧電層間に配置された複数の内部電極と、を備え、
前記各表面個別電極は、横列方向を長手方向とする細長形状に形成され、
前記最上圧電層には、前記各表面個別電極に開口し且つ当該各表面個別電極と前記内部電極とを導通させるための複数の表層スルーホールが形成され、
前記各表面個別電極の片端部には、前記複数の駆動側端子電極と導通させるための端子であって、当該各表面個別電極の長手方向の寸法よりも小さい電極用端子が形成され、これら複数の電極用端子は、列方向に沿って千鳥状配列を成して配置され、当該各駆動側端子電極と当該各電極用端子とを熱溶融性を有する導電性接合材を介在させた状態で互いに接合するための圧電アクチュエータであって、
前記複数の表層スルーホールは、前記各表面個別電極の片端部に対応する位置で列方向に沿って略一列に配設され、
前記各駆動側端子電極と前記各電極用端子とが接合されたときに、前記複数の表面個別電極のうち、前記各電極用端子が設けられた端部から余剰の前記導電性接合材が長手方向に沿って広がる領域が、部分的に厚肉部となっていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (6件)：
H01L 41/083
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/22
, H01L 41/187
, H01L 41/24
H01L41/08 Q
, B41J3/04 103A
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 S
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 A
2C057AF66
, 2C057AG33
, 2C057AG48
, 2C057AG84
, 2C057AG91
, 2C057AP02
, 2C057AP16
, 2C057BA04
, 2C057BA14
