小型圧電素板のコンベックス加工法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-366035
公開番号（公開出願番号）：特開2003-168941
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】圧電素板を効率よく安定した状態でコンベックス加工することを目的とする。【解決手段】課題を解決するために本発明は、圧電振動子を構成する小型圧電素板のコンベックス加工法において、コンベックス加工前に化学エッチング工程を施すことを特徴とする小型圧電素板のコンベックス加工法である。本発明でのコンベックス加工法は、個々の圧電素板単位で外形仕上げする該圧電素板を、ヘビーエッチングにより圧電素板の中心部から該素板の外周部に従って厚みを薄くしコンベックス形状を得るもので、圧電素板を、プラノコンベックス(片面)またはバイコンベックス(両面)で圧電素板の主面をコンベックス形状に加工することにより課題を解決する。

請求項（抜粋）：