特許
J-GLOBAL ID:200903006545293653

酸化錫膜のパタ-ン形成用水性亜鉛インクペ-スト組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 亮一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-162185
公開番号(公開出願番号):特開2000-345374
出願日: 1999年06月09日
公開日(公表日): 2000年12月12日
要約:
【要約】【課題】本発明の課題は、非導電性基板上に酸化錫の微細導電パタ-ンを湿式エッチング法によって形成させるのに有効な、酸化錫膜のエッチングに先立って事前に塗布処理されるエッチング予備処理剤を提供することにある。【解決手段】非導電性基板上の酸化錫膜の表面にフォトレジスト樹脂パタ-ンが形成された基板面に、エッチングに先立ってスクリ-ン印刷により塗布処理される、亜鉛微粉末10〜80重量%,プルラン1〜5重量%及び粘度調整用添加剤の所要量を含有して成る酸化錫膜パタ-ン形成用水性亜鉛インクペ-スト組成物。
請求項(抜粋):
非導電性基板上の酸化錫膜の表面にフォトレジスト樹脂パタ-ンが形成された面に、エッチングに先立って、スクリ-ン印刷により塗布処理される水性ペ-スト組成物であって、該組成物中に亜鉛微粉末10〜80重量%,プルラン1〜5重量%及び粘度調整用添加剤の所要量を含有して成る酸化錫膜のパタ-ン形成用水性亜鉛インクペ-スト組成物。
IPC (2件):
C23F 1/00 101 ,  C09D 11/02
FI (2件):
C23F 1/00 101 ,  C09D 11/02
Fターム (33件):
4J039AB01 ,  4J039AB02 ,  4J039AB07 ,  4J039AD09 ,  4J039AE07 ,  4J039BA06 ,  4J039BA21 ,  4J039BA23 ,  4J039BA31 ,  4J039BC07 ,  4J039BC08 ,  4J039BC09 ,  4J039BC10 ,  4J039BE12 ,  4J039BE22 ,  4J039BE23 ,  4J039CA08 ,  4J039EA48 ,  4J039GA10 ,  4K057WA11 ,  4K057WB11 ,  4K057WC10 ,  4K057WE02 ,  4K057WE03 ,  4K057WE04 ,  4K057WE07 ,  4K057WE08 ,  4K057WE12 ,  4K057WE14 ,  4K057WE25 ,  4K057WG01 ,  4K057WG02 ,  4K057WN01
引用特許:
審査官引用 (6件)
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