特許

J-GLOBAL ID：200903006563884154

フォトレジスト現像液及び膜剥し液を回収するための装置及び方法

発明者： ジャブロンスキー、ジュリアス・ジェイムズ
出願人/特許権者： フィーナンク・コーポレイション
代理人 (1件)： 木下 洋平 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-549350
公開番号（公開出願番号）：特表2002-515318
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2002年05月28日
要約：

【要約】硝酸含有溶液のような金属膜剥し液のリサイクリングにおいて、化学薬品は、膜剥し工程(100)から別々の循環経路に排出され、そこで、それらは、一連の接線フィルター(60’、62’、64’、66’)及び収集タンク(38’)を通って、ポンプで汲み出される。前記フィルターからの濾過液は、膜剥し工程(100)に戻され、高濃度の固形物を含んだ溶液は、金属の回収をさせるため、収集タンクから取除かれる。

請求項（抜粋）：

金属層が塗布された品物を処理するための装置であって、該装置が金属膜剥しの液体が処理工程を通って循環させられる第1循環フローパス(34’、26’、106)を有するものにおいて、 前記第1循環フローパスから液体の一部を受けるように接続された第2循環フローパス(36’、54’)を有し、該第2循環フローパスの少なくとも一部が多孔性フィルター媒体(54’)によって画定されており、かくして、液体が前記第2循環フローパスを通って流れるとき、濾過液が前記多孔性フィルター媒体を通って前記第2循環フローパスから流れ出るようになっており、さらに、 前記多孔性フィルター媒体を通って前記第2循環フローパスから流れ出る濾過液物を前記第1循環フローパスに移動させるための手段(84’)を有してなる、 液体回収システム。

IPC (5件)：

B01D 61/18 ,  B01D 29/25 ,  B01D 29/66 ,  B01D 65/02 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

B01D 61/18 ,  B01D 65/02 ,  B01D 29/30 520 Z ,  B01D 29/38 510 A ,  B01D 29/38 520 A ,  H01L 21/30 569 Z

Fターム (19件)：

4D006GA06 ,  4D006GA07 ,  4D006JA56Z ,  4D006JA66Z ,  4D006JA67Z ,  4D006KA72 ,  4D006KB04 ,  4D006KC03 ,  4D006KD11 ,  4D006KE15Q ,  4D006KE16Q ,  4D006MA02 ,  4D006MC03X ,  4D006PB08 ,  4D006PC01 ,  5F046LA03 ,  5F046LA07 ,  5F046LA09 ,  5F046MA10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• フォトレジスト現像液及び膜剥し液を回収するための装置及び方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-519584   出願人：ジャブロンスキージュリアス・ジェイムズ