フォトレジスト現像液及び膜剥し液を回収するための装置及び方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下洋平 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-519584
公開番号（公開出願番号）：特表2001-502847
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】現像、エッチング、及び膜剥し装置において、フォトレジストの現像及び膜剥しの化学薬品は、別々の循環経路に排出され、その各々で、それらは、熱交換器(52)、一連の接線フィルター(60、62、64、66)、UV接触器(56)、収集タンク(38)を通って、ポンプで汲み出される。前記フィルターからの濾過液は、現像(14)或いは膜剥し(22)工程に戻され、高濃度の固形物を含んだ溶液は廃棄のため前記収集タンクから取除かれる。炭酸ナトリウムや炭酸カリウムによる現像液の再生時に、適切なpHと炭酸塩/重炭酸塩の割合を維持するように、二酸化炭素ガスがアルカリ性金属酸化物とともに加えられる。

請求項（抜粋）：

フォトレジストが塗布された品物を処理するための装置であって、該装置がフォトレジストの現像及び膜剥し液からなるグループからの液体がフォトレジスト処理工程を通って循環させられる第1循環フローパス(34、26、28)を有するものにおいて、前記第1循環フローパスから液体の一部を受けるように接続された第2循環フローパス(36、54)を有し、該第2循環フローパスの少なくとも一部が多孔性フィルター媒体(54)によって画定されており、かくして、液体が前記第2循環フローパスを通って流れるとき、濾過液が前記多孔性フィルター媒体を通って前記第2循環フローパスから流れ出るようになっており、さらに、前記多孔性フィルター媒体を通って前記第2循環フローパスから流れ出る濾過液物を前記第1循環フローパスに移動させるための手段(84)を有することを特徴とする、液体回収システム。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , B05C 11/10 , G03F 7/30 501

FI (4件)：

H01L 21/30 569 D , B05C 11/10 , G03F 7/30 501 , H01L 21/30 572 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

特公平6-015078
特公平6-015078
フォトレジスト現像液及び膜剥し液を回収するための装置及び方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-549350 出願人：フィーナンク・コーポレイション

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