特許

J-GLOBAL ID：200903006594071674

プローブユニットおよびその製造方法、通電検査装置、通電検査方法

発明者： 寺田 佳樹
出願人/特許権者： ヤマハ株式会社
代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  渡邊 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-068900
公開番号（公開出願番号）：特開2005-257433
出願日： 2004年03月11日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：

【課題】 プローブピンおよび被検査対象物が破損し難いプローブユニットおよびその製造方法、通電検査装置、通電検査方法を提供する。【解決手段】 1または複数のプローブピンを備え、プローブピンの少なくとも一部が磁性体で形成され、プローブピンが磁場によって可動するプローブユニット。基板と、1または複数のプローブピンとを備え、プローブピンは、基板に固定された固定部と基板と所定間隔をおいて配置された先端部からなり、固定部もしくは先端部のいずれか一方の一部が磁性体で形成されているプローブユニット。1または複数のプローブピンを備え、プローブピンが複数の異なる磁性体で形成され、プローブピンが磁場によって可動するプローブユニット。プローブユニットが磁場内にあるときはプローブピンが突出し、プローブユニットが磁場内にないときはプローブピンが格納されているプローブユニット。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

1または複数のプローブピンを備えたプローブユニットであって、 前記1または複数のプローブピンの少なくとも一部が磁性体で形成され、前記1または複数のプローブピンが磁場によって可動するように形成されたことを特徴とするプローブユニット。

IPC (4件)：

G01R1/067 ,  G01R1/073 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66

FI (4件)：

G01R1/067 P ,  G01R1/073 D ,  H01L21/66 B ,  G01R31/28 K

Fターム (16件)：

2G011AA12 ,  2G011AB04 ,  2G011AB08 ,  2G011AC07 ,  2G011AE01 ,  2G011AE03 ,  2G132AA00 ,  2G132AF02 ,  2G132AF06 ,  2G132AL00 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• プローブカードおよびマイクロコンタクトピン
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-328307   出願人：株式会社アドバンテスト