特許

J-GLOBAL ID：200903006616280086

顕微鏡ステージ

発明者： 上 喜裕 ,  葛西 靖明 ,  舟窪 朋樹 ,  岡田 尚史
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-075090
公開番号（公開出願番号）：特開2005-265996
出願日： 2004年03月16日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】手動の顕微鏡ステージと置き換え可能なほど小型で熱的ドリフトを引き起こさない電動の顕微鏡ステージを提供する。【解決手段】顕微鏡ステージ100は、顕微鏡に固定される固定台110と、固定台110に対してY軸に沿って移動可能なYテーブル120と、Yテーブル120に対してY軸にほぼ直交するX軸に沿って移動可能な第二テーブルと、Yテーブル120をY軸に沿って駆動する超音波モーター140と、Xテーブル130をX軸に沿って駆動する超音波モーター150と、Yテーブル120の移動量を検出するY変位検出器160と、Xテーブル130の移動量を検出するX変位検出器170とを備えている。超音波モーター140と超音波モーター150とY変位検出器160とX変位検出器170の大部分は、Xテーブル130から側方に突出することなく、Xテーブル130の下に位置している。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

顕微鏡に固定される固定台と、 固定台に対して第一軸に沿って移動可能な第一テーブルと、 第一テーブルに対して第一軸にほぼ直交する第二軸に沿って移動可能な第二テーブルと、 第一テーブルを第一軸に沿って駆動する第一超音波モーターと、 第二テーブルを第二軸に沿って駆動する第二超音波モーターとを備えている、顕微鏡ステージ。

IPC (1件)：

G02B21/26

FI (1件)：

G02B21/26

Fターム (1件)：

2H052AD18

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 電動ステージ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-181086   出願人：オリンパス光学工業株式会社