結晶粒径測定方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河野登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-024910
公開番号（公開出願番号）：特開平11-153419
出願日： 1998年02月05日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】【課題】スパングル及びその他の結晶粒との濃淡差が小さい場合においても、正確な結晶粒径の測定が可能な結晶粒径測定方法及び装置を提供する。【解決手段】光源2から被測定面11へ照射される光を被測定面11内に存在するスパングルのみにて反射させ、その反射方向に撮像器3を設けて撮像し、撮像結果からスパングルの粒径を画像処理装置4を用いて算出することでスパングルの粒径を測定する構成とする。

請求項（抜粋）：

撮像器を用いて被測定物の表面を撮像し、撮像結果から被測定面に析出する所定種類の結晶粒の粒径を画像処理手段を用いて算出することで前記結晶粒の粒径を測定する結晶粒径測定方法において、光源から前記被測定面へ照射される光を前記所定種類の結晶粒の表面にて反射させ、その反射方向に前記撮像器を設けて撮像することを特徴とする結晶粒径測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/08 , G01N 21/17 , G01N 33/20

FI (3件)：

G01B 11/08 H , G01N 21/17 A , G01N 33/20 M

引用特許：

審査官引用 (5件)

スパングルサイズ測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-231926 出願人：日本鋼管株式会社
外観検査装置の感度補正方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-088758 出願人：松下電工株式会社
特開昭59-099304

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