特許

J-GLOBAL ID：200903006666086248

電子放出素子および電子放出素子用エミッタの製造方法

発明者： 勝又 聡 ,  浅野 種正
出願人/特許権者： 出光マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-208045
公開番号（公開出願番号）：特開平7-065701
出願日： 1993年08月23日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【構成】 請求項1に記載の発明は、表面が熱改質されたダイヤモンド薄膜をエミッタとして有することを特徴とする電子放出素子である。【効果】 前記構成を有する請求項1に記載の電子放出素子は、高い電子放出特性および安定性を有し、長期間その性能が劣化することがなく、冷陰極、フラットCRT、電子銃、高周波素子等の電気・電子分野をはじめとする広い分野で好適に用いることができる。

請求項（抜粋）：

表面が熱改質されたダイヤモンド薄膜をエミッタとして有することを特徴とする電子放出素子。

IPC (2件)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 冷陰極エミツタ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-117521   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 特開平1-239091
  
• 特開昭63-055197