特許

J-GLOBAL ID：200903006670938577

露光装置

発明者： 西 健爾
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-245809
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092722
出願日： 1996年09月18日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 露光装置に備えられた照度センサの較正精度を高め、較正用のデータの処理速度を高める。【解決手段】 照明系17中のビームスプリッタ33により分割された露光光ILの照度を検出するインテグレータセンサ18、及びウエハステージ1上に固定された固定型照度センサ7等の常設の照度センサを較正するための着脱型照度計2をウエハステージ1上に着脱自在に設置し、着脱型照度計2からの出力信号をセンサ制御装置3等を介して照度制御ユニット12にオンラインで供給する。例えばインテグレータセンサ18の較正に際し、露光光ILの照度をインテグレータセンサ18及び着脱型照度計2で同期して計測し、それらの出力信号を照度制御ユニット12内で演算処理する。

請求項（抜粋）：

感光基板の位置決めを行う基板ステージを有し、露光用の照明光のもとでマスクに形成されたパターンを前記基板ステージ上の前記感光基板に転写露光する露光装置において、前記基板ステージ上に着脱自在で該基板ステージ上での前記照明光の照度を直接計測する着脱型の照度センサと、前記基板ステージ上での前記照明光の照度を直接的、又は間接的に計測する常設の照度センサと、前記着脱型の照度センサの計測データを取り込むインタフェース装置と、該インタフェース装置を介して取り込まれる前記着脱型の照度センサの計測データと前記常設の照度センサの計測データとの関係を求めて記憶する露光量制御手段と、を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 516 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 514 E

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-075766   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭57-059115
  
• 特開昭57-059115