KrFエキシマレーザ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-244442
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092917
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 KrFエキシマレーザの発振効率を高くするための予備電離電圧の波形及び印加タイミングの適正化を図る。【解決手段】主放電空間に電離電子を放出する予備電離電極部に印加する予備電離電圧の時間変化率を予備電離電極の構成から決定して印加するようにした。また主放電電圧と予備電離電圧の印加タイミングも発振効率が最大近くになるように印加する。

請求項（抜粋）：

Neガス、Heガスを希釈ガスとして、Krガス、F2ガスが適正割合で混合され、適正圧力で封入された容器内部に、所定の間隔を保って配置され、主放電空間を形成する一対の主電極、誘電体の表面の一端部にコロナ開始電極、裏面に予備電離電極を有する予備電離電極部の表面が放電空間に対向して配置され、予備電離電極部に印加する予備電離電圧は、主放電空間の構成によって決まる電離エネルギ係数を、予備電離電極部の誘電体のコロナ放電部の軸方向の単位長当たりの静電容量、コロナ発生部の形状で決まる形状係数、コロナ伸展長及びコロナ発生部から主放電部に至る間に電離電子が減衰する減衰係数の積で除した値の時間変化率以上の電圧を印加することを特徴とするKrFエキシマレーザ。

IPC (3件)：

H01S 3/0977 , H01S 3/038 , H01S 3/225

FI (3件)：

H01S 3/097 E , H01S 3/03 D , H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平2-303083
放電励起パルスレーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-258944 出願人：三菱電機株式会社

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