特許
J-GLOBAL ID：200903006707628727

基板洗浄装置及び洗浄部材の交換時期判定方法

発明者：
▲はま▼田 聡美

▲はま▼田 聡美 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (8件)： 社本 一夫 ,  小野 新次郎 ,  千葉 昭男 ,  神田 藤博 ,  内田 博 ,  星野 修 ,  宮前 徹 ,  山崎 幸作
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-505302
公開番号（公開出願番号）：特表2008-515171
出願日： 2005年09月13日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：
基板洗浄装置は、洗浄部材2に押し付けてこれを洗浄する当接部材14、当接部材14を駆動制御する駆動制御手段21、及び洗浄液11を収納し洗浄部材2と当接部材14の当接部分を浸漬させる洗浄槽12を含む洗浄装置10、洗浄部材2の表面画像を取り込む画像取得手段16、並びに画像処理装置17を含み、洗浄部材2の表面状態をモニターしその交換時期を判断する。基板洗浄装置は、洗浄槽12内の洗浄液11中のパーティクル数及び/又は成分濃度を測定する測定手段13を具備し、測定手段13による測定結果を駆動制御手段21にフィードバックし、洗浄部材2の汚染を防止する。
請求項（抜粋）：
基板に当接してスクラブ洗浄する洗浄部材を備えた基板洗浄装置の洗浄部材交換時期判定方法であって、 前記洗浄部材の表面状態を検知する表面状態検知手段で基板洗浄作業中又は洗浄部材洗浄中の洗浄部材の表面状態を検知し、該検知した表面状態の変化から該洗浄部材の交換時期を判定する方法。
IPC (5件)：
H01L 21/304 ,  G02F 1/133 ,  G02F 1/13 ,  B05C 11/00 ,  B05C 11/10
FI (6件)：
H01L21/304 644B ,  H01L21/304 644C ,  G02F1/1333 500 ,  G02F1/13 101 ,  B05C11/00 ,  B05C11/10
Fターム (26件)：
2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JC19 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042CC04 ,  4F042CC11 ,  4F042DA01 ,  4F042DH09 ,  5F157AA03 ,  5F157AA73 ,  5F157BA02 ,  5F157BA07 ,  5F157BB02 ,  5F157BB73 ,  5F157CC03 ,  5F157CD21 ,  5F157CD23 ,  5F157CD24 ,  5F157CD25 ,  5F157CD29 ,  5F157CD34 ,  5F157CD36
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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