特許
J-GLOBAL ID：200903006723427863
ポジ型感光性樹脂組成物用現像液及びそれを用いたパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-332449
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155428
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：
【要約】【課題】 感度、膜減り率に優れるのみならず、パターン加工工程におけるスカムをなくし、高解像度が得られる感光性樹脂組成物用の現像液を得る。またこれを用いた感光性樹脂組成物用のパターン形成方法を提供する。【解決手段】 アニオン性界面活性剤と極微量の塩素を含むアルカリ性水溶液からなるポジ型感光性樹脂組成物用現像液であり、ポジ型感光性樹脂組成物を基板等に塗布し、プリベークを行い、光照射を行った後、アニオン性界面活性剤と極微量の塩素を含むアルカリ性水溶液からなる現像液で露光部を溶解除去して、パターンを得るポジ型感光性樹脂組成物のパターンを得る。
請求項（抜粋）：
アニオン性界面活性剤、塩素を含むアルカリ性水溶液からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物用現像液。
Fターム (8件)：
2H096AA25
, 2H096BA09
, 2H096BA10
, 2H096CA14
, 2H096DA01
, 2H096EA02
, 2H096GA10
, 2H096GA11
