特許
J-GLOBAL ID：200903006752601350
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-335888
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223527
出願日： 1997年12月05日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 ケーブル類により基板ステージ等の位置決め精度が影響を受けることのない露光装置を提供する。【解決手段】 感光基板12を載置して基板ベース17の上面に沿って2次元的に移動可能な基板ステージ15と、この基板ベース17面と物理的に離隔して配置され、基板ステージ15に接続されているケーブル類41を固定して基板ステージ15と同一の2次元方向に移動可能なケーブル類中継部54と、この基板ステージ15とケーブル類中継部54との相対的な位置を常に一定に保つようにケーブル類部54の移動量を制御するステージ制御系21とを備えている。さらにレチクルステージ9にも同様にレチクルステージ9に追従して2次元方向に移動するケーブル類中継部54が備えられている。
請求項（抜粋）：
マスク上のマスクパターンを感光基板に露光する露光装置において、前記感光基板を載置して基板ベースの上面に沿って2次元的に移動可能な基板ステージと、前記基板ベース面と物理的に離隔して配置され、前記基板ステージに接続されているケーブル類を固定して前記基板ステージと同一の2次元方向に移動可能な基板ステージ・ケーブル類中継手段と、前記基板ステージと前記基板ステージ・ケーブル類中継手段との相対的な位置を常に一定に保つように前記基板ステージ・ケーブル類中継手段の移動量を制御する基板ステージ駆動手段と、を備えることを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B23P 19/00 302
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
H01L 21/30 503 A
, B23P 19/00 302 P
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68 K
, H01L 21/30 515 G
