多層シートとその製造方法及びこの多層シートを用いた粘着シート

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島由美子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-201558
公開番号（公開出願番号）：特開2004-122758
出願日： 2003年07月25日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】半導体ウエハ等の製品を加工する際に使用される粘着シートであり、加工中に半導体ウエハ等を破損することなく、粘着シートの残留応力による製品の反りを小さくすることができる粘着シート及び粘着シートに使用される積層シートを提供すること。【解決手段】多層シートは、ウレタンポリマーとビニル系ポリマーとを有効成分として含有する複合フィルムと、この複合フィルムとは異なる材料からなるフィルムとを有する積層体である。また、粘着シートは、この多層シートの片面に、粘着剤層を有するものである。ここで、ビニル系ポリマーは、アクリル系ポリマーであることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ウレタンポリマーとビニル系ポリマーとを有効成分として含有する複合フィルムと、該複合フィルムとは異なる材料からなる第一フィルムとを有することを特徴とする多層シート。

IPC (7件)：

B32B27/40 , B24B37/04 , C09J4/00 , C09J7/02 , C09J201/00 , H01L21/301 , H01L21/304

FI (7件)：

B32B27/40 , B24B37/04 J , C09J4/00 , C09J7/02 Z , C09J201/00 , H01L21/304 622J , H01L21/78 M

Fターム (54件)：

3C058AA07 , 3C058AB04 , 3C058CB02 , 3C058DA17 , 4F100AK01B , 4F100AK01C , 4F100AK01D , 4F100AK02A , 4F100AK25A , 4F100AK25D , 4F100AK25J , 4F100AK42B , 4F100AK42C , 4F100AK51A , 4F100AK68B , 4F100AL01D , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA04 , 4F100BA07 , 4F100BA10B , 4F100BA10C , 4F100BA10D , 4F100CA02 , 4F100EH46 , 4F100GB41 , 4F100GB90 , 4F100JB14A , 4F100JB14C , 4F100JK06 , 4F100JL04 , 4F100JL06 , 4F100JL13 , 4F100JL13D , 4J004AA01 , 4J004AA05 , 4J004AA10 , 4J004AB06 , 4J004CA03 , 4J004CA06 , 4J004CC02 , 4J004CC03 , 4J004FA04 , 4J004FA08 , 4J040FA131 , 4J040FA231 , 4J040FA291 , 4J040GA05 , 4J040GA07 , 4J040GA11 , 4J040GA20 , 4J040JA09 , 4J040JB07 , 4J040KA13

引用特許：

審査官引用 (3件)

活性エネルギー線硬化性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-308268 出願人：荒川化学工業株式会社
印刷カード用接着剤付きオーバーシート
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-342954 出願人：住友ベークライト株式会社
複合フィルム及び半導体製品保持シート
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-368670 出願人：日東電工株式会社

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