特許

J-GLOBAL ID：200903006779223632

基板収納容器

発明者： 大貫 和正
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-077005
公開番号（公開出願番号）：特開2009-231653
出願日： 2008年03月25日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：

【課題】棚板片の強度を向上させ、棚板片の洗浄時の水分残存を低減するとともに、乾燥作業の時間短縮を図ることができ、しかも、棚板片の厚さバラツキを防ぎ、基板の高精度な支持や基板の円滑な出し入れを実現できる基板収納容器を提供する。【解決手段】 半導体ウェーハ収納用の容器本体1と、容器本体1に内蔵されて半導体ウェーハを支持する一対の支持体30とを備え、各支持体30を、容器本体1の側壁内面に対向する中間片31と、中間片31に形成されて容器本体1の正面部2側に位置する先端片32と、中間片31に形成される末端片39と、中間片31から末端片39にかけて形成され、半導体ウェーハを支持するティース45とから構成し、ティース45を連続した波形に形成する。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

基板を開口部から収納する容器本体に、基板を支持する支持体を設けた基板収納容器であって、 支持体は、少なくとも容器本体の側壁内面に対向して基板を支持する棚板片を含み、この棚板片を容器本体の開口部から閉塞部側にかけて略波形に形成したことを特徴とする基板収納容器。

IPC (2件)：

H01L 21/673 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L21/68 T ,  B65D85/38 R

Fターム (24件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA05 ,  3E096DA18 ,  3E096DA23 ,  3E096DA25 ,  3E096DB01 ,  3E096DC04 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA09 ,  3E096FA20 ,  3E096FA26 ,  3E096FA27 ,  3E096GA11 ,  3E096GA13 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA19

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-057543   出願人：信越ポリマー株式会社