特許
J-GLOBAL ID：200903021488525711

基板収納容器

発明者：
三村 博

三村 博 について

, 
益子 秀洋

益子 秀洋 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-057543
公開番号（公開出願番号）：特開2006-245206
出願日： 2005年03月02日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：
【課題】 少数枚の基板の収納や保管に適し、効率や経済性を向上させることができるとともに、金型を使用した製造等の容易化を図ることができ、寸法誤差の少ない基板収納容器を提供する。【解決手段】 2枚の半導体ウェーハを収納する容器本体1と、容器本体1の開口部を開閉する蓋体とを備え、容器本体1を正面視で横長のフロントオープンボックスとしてその正面の開口部の長辺と短辺の長さの比を1.6〜25の範囲とする。そして、容器本体1の大部分である天井3、背面壁、及び両側壁10を一体成形して残りを別体のボトムプレート25とし、これらを成形後に再度成形して一体化する。容器本体1の大部分とボトムプレート25とを別々に成形し、これらを後から組み立てて成形するので、容器本体1の開口部が狭く奥ゆきが長くなっても、成形時に金型からの離型が困難になることがない。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
少数枚の基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体とを含み、容器本体を正面視で横長のフロントオープンボックスとしてその正面の開口部の長辺と短辺の長さの比を1.6〜25の範囲とした基板収納容器であって、 容器本体の一部を一体形成して残部を別体とし、これら一部と残部とを組み合わせて一体化するようにしたことを特徴とする基板収納容器。
IPC (2件)：
H01L 21/673 ,  B65D 85/86
FI (2件)：
H01L21/68 T ,  B65D85/38 R
Fターム (38件)：
3E096AA03 ,  3E096AA04 ,  3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB08 ,  3E096CA02 ,  3E096CA03 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA14 ,  3E096DA17 ,  3E096DB01 ,  3E096DB07 ,  3E096DB08 ,  3E096DC02 ,  3E096DC04 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA07 ,  3E096FA08 ,  3E096FA09 ,  3E096FA15 ,  3E096FA16 ,  3E096FA19 ,  3E096FA26 ,  3E096FA27 ,  3E096FA29 ,  3E096FA31 ,  3E096GA05 ,  3E096GA07 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA01 ,  5F031EA11 ,  5F031EA14 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (9件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM