特許
J-GLOBAL ID：200903006789018441
カーボン細線プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-057371
公開番号（公開出願番号）：特開2007-232668
出願日： 2006年03月03日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：
【課題】 高アスペクト比で高耐久性及び高信頼性を備え、簡単な製造方法によりバッチ処理が可能で磁性特性を持たせることも可能な、SPMカンチレバーの探針などに好適なカーボン細線プローブを提供する。【解決手段】 高エネルギーを照射することにより、カンチレバーの探針3の先端部3aに選択的に形成したCNT細線7に、Fe金属(内包金属)6aを内包させてカーボン細線プローブを構成する。【選択図】 図 1
請求項（抜粋）：
高エネルギービームを照射することにより、突起状先端部にカーボン細線を選択的に形成してなるカーボン細線プローブにおいて、前記カーボン細線は金属を内包していることを特徴とするカーボン細線プローブ。
IPC (3件)：
G01N 13/16
, G01N 13/22
, G12B 21/02
G01N13/16 C
, G01N13/16 A
, G01N13/22 B
, G01N13/22 A
, G12B1/00 601A
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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