特許
J-GLOBAL ID:200903006793453128

表面被覆窒化珪素工具

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 足立 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-011512
公開番号(公開出願番号):特開平10-212183
出願日: 1997年01月24日
公開日(公表日): 1998年08月11日
要約:
【要約】【課題】 熱による内部歪の発生を防止して、層の剥離等の不具合が発生しない表面被覆窒化珪素工具を提供すること。【解決手段】 チップ1は、基体3の表面全体に厚さ2〜8μmの範囲の被覆層5が形成されたものである。基体3の組成は、Si3N4;96重量%、Al2O3;1.5重量%、MgO;1重量%、Yb2O;1.5重量%であり、その結晶粒径は平均0.5μm以下である。被覆層5は、基体3の表面を覆って設けられたAlONからなる基体側層11と、基体側層11の表面を覆って設けられたTiCからなる中間第1内部層12と、中間第1内部層12の表面を覆って設けられたTiCNからなる中間第2内部層13と、中間第2内部層の表面を覆って設けられたTiNからなる最外層14とから構成されている。尚、中間第1内部層12及び中間第2内部層13が、中間層15を構成している。
請求項(抜粋):
窒化珪素を主成分とする基体の表面に被覆層を有する表面被覆窒化珪素工具において、前記被覆層は、前記基体の表面に設けられたAlONからなる基体側層と、該基体側層の表面に設けられた中間層と、該中間層の表面に設けられたTiNからなる最外層との3種の層を備えるとともに、該被覆層の厚みが2〜8μmであり、前記中間層は、AlON,TiC,TiN,及びTiCNの中から選択された1種以上の中間内部層からなることを特徴とする表面被覆窒化珪素工具。
IPC (3件):
C04B 41/89 ,  B23B 27/14 ,  B23P 15/28
FI (3件):
C04B 41/89 J ,  B23B 27/14 A ,  B23P 15/28 A
引用特許:
審査官引用 (3件)

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