特許
J-GLOBAL ID：200903006840544650
多孔質金属膜の製造方法およびセンサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
三反崎 泰司
, 藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-367760
公開番号（公開出願番号）：特開2005-133114
出願日： 2003年10月28日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】 空孔率、空孔の大きさ、あるいは空孔の形状を容易に制御することができる多孔質金属膜の製造方法、およびそれを用いたセンサの製造方法を提供する。【解決手段】 アクリル樹脂粉末などの有機物粉末を溶媒に分散したのち(ステップS101)、基板の上に塗布し、乾燥させて空孔形成膜を形成する(ステップS102)。次いで、金属粉末などの原料粉末を溶媒に分散したのち(ステップS103)、空孔形成膜に含浸させて前駆体膜を形成する(ステップS104)。続いて、前駆体膜を加熱して有機物粉末を熱分解させて除去すると共に、原料粉末を焼結する(ステップS105)。これにより有機物粉末の占めていた領域が空孔となる。特にアクリル樹脂粉末を用いれば、アクリル樹脂粉末の形状が保たれた状態で空孔が形成されると共に、熱分解後の残留物も少なくすることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
有機物粉末と、金属粉末または加熱により金属となる金属前駆体粉末からなる群のうちの少なくとも1種の原料粉末とを含む前駆体膜を形成する工程と、
この前駆体膜を加熱して前記有機物粉末を除去し、前記原料粉末を焼結する工程と
を含むことを特徴とする多孔質金属膜の製造方法。
IPC (6件)：
B22F3/11
, B22F7/04
, C22C1/08
, G01N27/409
, G01N27/41
, G01N27/416
B22F3/11 B
, B22F7/04 E
, C22C1/08 D
, C22C1/08 F
, G01N27/58 B
, G01N27/46 325K
, G01N27/46 331
2G004BE10
, 2G004BE13
, 2G004BE17
, 2G004BE18
, 2G004BE30
, 2G004BM07
, 2G004ZA04
, 4K018AA02
, 4K018AA03
, 4K018AA07
, 4K018AA40
, 4K018BA01
, 4K018BA02
, 4K018BA04
, 4K018BA20
, 4K018JA16
, 4K018KA32
