特許
J-GLOBAL ID:200903006840603338

HDMIデカルおよび微細な線のフレキシブルな相互接続形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-089564
公開番号(公開出願番号):特開平10-075055
出願日: 1997年04月08日
公開日(公表日): 1998年03月17日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、フレキシブルな高密度の多重層相互接続構造を製造する方法を得ることを目的とする。【解決手段】 支持体11を設け、この支持体11上に解放層12を形成し、解放層12上にフレキシブルな高密度の多重層相互接続構造13〜17を製造し、支持体11からフレキシブルな高密度の多重層相互接続構造を解放し取り外すように解放層12を処理することを特徴とする。紫外線放射に透明である透明な支持体11を使用し、この透明な支持体を通して紫外線放射源18から紫外線を解放層に照射して解放層を処理することが有効である。
請求項(抜粋):
フレキシブルな高密度の多重層相互接続構造を製造する方法において、支持体を設け、支持体上に解放層を形成し、解放層上にフレキシブルな高密度の多重層相互接続構造を製造し、支持体からフレキシブルな高密度の多重層相互接続構造を解放し取り外すように解放層を処理するステップを有することを特徴とする製造方法。
引用特許:
審査官引用 (2件)

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