特許
J-GLOBAL ID：200903006884012418

ワーク搬送装置

発明者：
平川 武則

平川 武則 について


出願人/特許権者：
平田機工株式会社

平田機工株式会社 について


代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-324128
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134585
出願日： 2000年10月24日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：
【要約】【課題】 ワーク搬送装置のモータ以外の構成要素の配置スペースやメンテナンスのためのスペースを適切に確保し得るワーク搬送装置を提供すること。【解決手段】 チャンバ内に配置され、チャンバ内でワークを搬送する搬送アーム1と、搬送アーム1に駆動力を付勢する複数の出力軸であって、それぞれ同芯に配置された複数の出力軸21a及び21b、を有し、前記チャンバに取り付けられる密閉型のモータ2と、を備え、モータ2は、各々の出力軸21a及び21bを回転駆動する構成要素22及び25が、出力軸21a及び21bの径方向に多重的に配置されたものであることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
チャンバ内に配置され、該チャンバ内でワークを搬送する搬送アームと、前記搬送アームに駆動力を付勢する複数の出力軸であって、それぞれ同芯に配置された複数の出力軸、を有し、前記チャンバに取り付けられる密閉型のモータと、を備え、前記モータは、各々の前記出力軸を回転駆動する構成要素が、前記出力軸の径方向に多重的に配置されたものであることを特徴とするワーク搬送装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  B25J 17/00 ,  B65G 49/07 ,  H02K 16/00
FI (5件)：
H01L 21/68 A ,  B25J 9/06 D ,  B25J 17/00 B ,  B65G 49/07 D ,  H02K 16/00
Fターム (28件)：
3F060AA01 ,  3F060AA07 ,  3F060AA08 ,  3F060AA09 ,  3F060DA09 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060FA02 ,  3F060GA00 ,  3F060GA03 ,  3F060GA11 ,  3F060GB02 ,  3F060GB06 ,  3F060GB31 ,  3F060GC01 ,  3F060HA28 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA02 ,  5F031GA43 ,  5F031GA44 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031LA07 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031NA05
引用特許：
審査官引用 (4件)
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