特許

J-GLOBAL ID：200903006890538286

AlTi系合金スパッタリングターゲット及び耐摩耗性AlTi系合金硬質皮膜並びに同皮膜の形成方法

発明者： 阿部 利彦 ,  橋本 等 ,  朴 容浩 ,  齋藤 吉信 ,  武田 裕正 ,  及川 広勝
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  東北特殊鋼株式会社
代理人 (2件)： 小越 勇 (外1名) ,  小越 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106118
公開番号（公開出願番号）：特開2000-297365
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】 切削工具、摺動部材、金属加工工具等に形成する皮膜の硬さ(耐摩耗性)、耐酸化性、母材との密着性等を向上させるとともに、バランスの取れた特性を備え、安定した皮膜の形成と該皮膜を形成した工具等の寿命を向上させる。【解決手段】 AlxTi1-x-y-zMyRz(但し、MはSi、Cr、W、Moから選択した元素の1種以上、RはY、Ce、La、ミッシュメタル等の希土類元素から選択した元素の1種以上、0.05≦x≦0.7、0.02≦y≦0.25、0.0005≦z≦0.05)であるAlTi系合金スパッタリングターゲット及び同組成からなる耐摩耗性AlTi系合金硬質皮膜。

請求項（抜粋）：

AlTi系合金スパッタリングターゲットの組成が、AlxTi1-x-y-zMyRz(但し、MはSi、Cr、W、Moから選択した元素の1種以上、RはY、Ce、La、ミッシュメタル等の希土類元素から選択した元素の1種以上、0.05≦x≦0.7、0.02≦y≦0.25、0.0005≦z≦0.05)であることを特徴とするAlTi系合金スパッタリングターゲット。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  C22C 14/00 ,  C22C 21/00

FI (3件)：

C23C 14/34 A ,  C22C 14/00 Z ,  C22C 21/00 N

Fターム (7件)：

4K029BA21 ,  4K029BA23 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029BD05 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04

引用特許：

審査官引用 (1件)

• Ti-Al合金ターゲット材の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-278297   出願人：株式会社神戸製鋼所