特許

J-GLOBAL ID：200903006896534282

計測方法及びそれを用いた投影露光装置

発明者： 塩出 吉宏 ,  川野辺 善夫 ,  塚本 泉 ,  諸星 洋
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-040327
公開番号（公開出願番号）：特開2002-289494
出願日： 2001年02月16日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：

【要約】【課題】 投影光学系のベストフォーカス位置や非点収差等を迅速かつ精度良く検出することができる計測方法を得ること。【解決手段】 像投影用光学系のフォーカス情報を計測する計測方法で、該光学系を介し且つ主光線の入射方向の異なる照明光をそれぞれ用いてマーク投影を行なうことにより、概略結像面において該両照明それぞれによるマーク像の重ね合わせを実現し、該重ね合わされたマーク像間のずれ情報によって前記光学系のフォーカス情報を得ること。

請求項（抜粋）：

像投影用光学系のフォーカス情報を計測する計測方法で、該光学系を介し且つ主光線の入射方向の異なる照明光をそれぞれ用いてマーク投影を行なうことにより、概略結像面において該両照明それぞれによるマーク像の重ね合わせを実現し、該重ね合わされたマーク像間のずれ情報によって前記光学系のフォーカス情報を得ることを特徴とする計測方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/02

FI (5件)：

G01B 11/00 A ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/30 526 B ,  H01L 21/30 525 W

Fターム (18件)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065BB03 ,  2F065BB28 ,  2F065CC20 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065GG01 ,  2F065JJ01 ,  2F065LL30 ,  2F065MM02 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR02 ,  2F065RR05 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046FC04

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ベストフォーカス計測方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-264658   出願人：株式会社ニコン