特許

J-GLOBAL ID：200903006998104088

搬送システム

発明者： 田原 良祐
出願人/特許権者： 村田機械株式会社
代理人 (1件)： 矢野 寿一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-370004
公開番号（公開出願番号）：特開2006-176255
出願日： 2004年12月21日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：

【課題】搬送経路と処理装置との間で板状ワークを損傷することなく移載できる搬送システムを提供することを目的とする。【解決手段】液晶ガラス2を1枚ずつトレイ20に載置して搬送経路3に沿って搬送させる搬送システム1であって、該液晶ガラス2を非接触で保持しつつ該搬送経路3と処理装置4との間で該液晶ガラス2を移載する移載装置5を設けた。この移載装置5は、ベルヌーイ効果の負圧を利用して前記液晶ガラス2を非接触状態で懸垂保持するワーク吸着装置50を備えてなる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

板状ワークを1枚ずつトレイに載置して搬送経路に沿って搬送させる搬送システムであって、該板状ワークを非接触で保持しつつ該搬送経路と処理装置との間で該板状ワークを移載する移載手段を設けたことを特徴とする搬送システム。

IPC (4件)：

B65G 49/06 ,  B65G 47/91 ,  B65G 51/03 ,  H01L 21/677

FI (4件)：

B65G49/06 A ,  B65G47/91 B ,  B65G51/03 C ,  H01L21/68 C

Fターム (26件)：

3F072AA28 ,  3F072GD03 ,  3F072GG03 ,  3F072KA07 ,  3F072KD03 ,  3F072KD07 ,  3F072KD23 ,  3F072KD28 ,  5F031CA05 ,  5F031DA13 ,  5F031DA17 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA14 ,  5F031GA28 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA53 ,  5F031GA63 ,  5F031KA10 ,  5F031KA15 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 搬送システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-335704   出願人：村田機械株式会社

審査官引用 (4件)

• 搬送システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-335703   出願人：村田機械株式会社
• 特開平1-316954
  
• 薄型パネルの起立装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-344672   出願人：昭和鉄工株式会社, 永田徹三
• 特開平1-316954