定量送液ポンプおよびそれを用いた薬液塗布装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴木俊一郎 , 牧村浩次 , 高畑ちより , 鈴木亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-217008
公開番号（公開出願番号）：特開2008-038837
出願日： 2006年08月09日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：

【課題】例えばスリットコート式の塗布工程などにおいて、塗布時における振動が十分に少なく、平滑な薄膜塗布が可能な定量送液ポンプおよびそれを用いた薬液塗布装置を提供する。【解決手段】パルスモータから減速機を介して回転が伝達されるボールねじ機構に連結されたピストンロッドの移動により容積が増減するシリンジ室31と、内部がポンプ室を構成するチューブ51の外周側の非圧縮性流体収容室58と、を連通する配管41に、流量調整弁42および逆止弁43を並列に設け、ポンプの吐出工程時には逆止弁43を閉止して流量調整弁42のみ通過させることで、非圧縮性流体に絞り負荷を与えて移送液の圧力変動を抑制すると共に、ポンプの吸入工程時には逆止弁43を開放して流れをバイパスすることで、非圧縮性流体の急激な流量変化を抑えるようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

配管で連通するシリンジ部およびポンプ部を備え、前記シリンジ部は、ボールねじ機構で作動するピストンロッドと、シリンジ室と、を備え、前記ポンプ部は、移送液が流出入するポンプ室と、可撓性隔壁によりポンプ室と仕切られた非圧縮性流体収容室と、を備え、前記配管には、流量調整弁および逆止弁が設けられ、シリンジ室の容積を増減させ、前記配管を通じてシリンジ室と非圧縮性流体収容室との間で非圧縮性流体を流出入させることで、前記ポンプ部における液体の移送量を制御することを特徴とする定量送液ポンプ。

IPC (5件)：

F04B 43/10 , F04B 9/103 , F04B 53/10 , H01L 21/027 , B05C 11/10

FI (5件)：

F04B43/10 , F04B9/10 H , F04B21/02 Z , H01L21/30 564Z , B05C11/10

Fターム (35件)：

2H025AA18 , 2H025AB14 , 2H025AB20 , 2H025EA04 , 3H071AA01 , 3H071BB01 , 3H071DD01 , 3H071DD11 , 3H071DD42 , 3H075AA09 , 3H075BB04 , 3H075BB14 , 3H075CC11 , 3H075DA05 , 3H075DA06 , 3H075DA09 , 3H075DB10 , 3H075DB42 , 3H075DB44 , 3H075DB47 , 3H077AA08 , 3H077CC04 , 3H077CC08 , 3H077DD09 , 3H077DD15 , 3H077EE05 , 3H077FF13 , 3H077FF22 , 3H077FF45 , 3H077FF46 , 4F042AA02 , 4F042AA06 , 4F042AA10 , 4F042CB02 , 5F046JA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

薬液送給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-274851 出願人：株式会社コガネイ
定量送液ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-153757 出願人：株式会社鷺宮製作所

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