定量送液ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴木俊一郎 , 牧村浩次 , 高畑ちより , 鈴木亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-153757
公開番号（公開出願番号）：特開2006-266250
出願日： 2005年05月26日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：

【課題】大容量の薬液を高い定量精度で吐出でき、長期に渡り正確な吐出が可能な定量送液ポンプを提供する。【解決手段】移送液を収容するポンプ室28の容積を変化させる送液用ベローズ25の内部室または、ポンプ室28を構成するチューブ61の外周側の室内と、シリンジ本体13のシリンジ室17とに非圧縮性液体を充填し、シリンジ室17に、軸方向へ移動可能にピストンロッド10を設けるとともに、シリンジ室17の外部で下方に延びるピストンロッド10の外周を囲む下方ベローズ30と、ピストンロッド10の側方に配置された側方ベローズ36とを設け、下方ベローズ30の内部室から側方ベローズ36の内部室に至る閉鎖空間に非圧縮性液体を充填した。これによって、ピストンロッド10の往復動による下方ベローズ30の伸縮に応じて、側方ベローズ36が、非圧縮性液体が充填された閉鎖空間の容積を略一定に保つように連動しながら伸縮するようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ポンプ室と、該ポンプ室へ移送液が吸入される吸入口と、該ポンプ室から前記移送液が吐出される吐出口と、非圧縮性液体が内部室に充填され、伸縮によって前記ポンプ室の容積を変化させる送液用ベローズと、が設けられたポンプヘッドと、前記非圧縮性液体が充填され前記送液用ベローズの内部室と連通されたシリンジ室が設けられたシリンジ本体と、前記シリンジ本体との間がシール部材によってシールされた状態で前記シリンジ室を軸方向に往復動することにより、該シリンジ室と前記送液用ベローズの内部室との間で前記非圧縮性液体を流出入させ、これにより前記送液用ベローズを伸縮させる駆動部材と、前記シリンジ室の外部で下方に延びる前記駆動部材の外周を囲み、その下端部が該駆動部材に固定され、該駆動部材の往復動に連動して伸縮する下方ベローズと、前記駆動部材の側方に配置され、前記下方ベローズと内部室が連通した側方ベローズと、を備え、前記下方ベローズおよび側方ベローズの内部室と、これらの内部室を連通させる連通部とからなる空間であり、前記シール部材によって前記シリンジ室と仕切られた空間内に、非圧縮性液体が充填され、前記駆動部材の往復動による前記下方ベローズの伸縮に応じて、前記側方ベローズが、前記非圧縮性液体が充填された前記空間の容積を略一定に保つように連動しながら伸縮することを特徴とする定量送液ポンプ。

IPC (3件)：

F04B 13/00 , F04B 43/06 , F04B 43/067

FI (3件)：

F04B13/00 A , F04B43/06 B , F04B43/06 C

Fターム (20件)：

3H075AA09 , 3H075BB03 , 3H075BB04 , 3H075CC11 , 3H075CC16 , 3H075DA03 , 3H075DA04 , 3H075DA05 , 3H075DA14 , 3H075DB42 , 3H075DB43 , 3H077AA08 , 3H077BB03 , 3H077CC03 , 3H077CC07 , 3H077CC18 , 3H077DD15 , 3H077EE05 , 3H077EE26 , 3H077EE34

引用特許：

出願人引用 (6件)

レジスト塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-276359 出願人：株式会社コガネイ
特許第3057082号公報
液体材料流量制御ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-344181 出願人：日本パイオニクス株式会社

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審査官引用 (7件)

液体材料流量制御ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-344181 出願人：日本パイオニクス株式会社
特開昭58-041278
電磁誘導スパイラルインダクタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-285289 出願人：凸版印刷株式会社

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