投影露光装置及び露光方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-146076
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343284
出願日： 1992年06月08日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】半導体装置などの製造で行う投影露光に関し、光源ハウス内の楕円鏡や他の光学部品に曇りが生じ難い投影露光装置及び露光方法の提供を目的とする。【構成】投影露光装置は、露光用の光源6と光源6からの光を反射し集光させる楕円鏡7とを内部に有する光源ハウス5が、ファン4によって換気されるようになっており、該換気の空気吸入口に空気清浄剤1を配置してあるように構成する。更に、楕円鏡7を加熱するヒータ2を有するように構成する。12は投影露光装置本体である。露光方法は、クリーンルーム内で上記投影露光装置を用いて投影露光を行うように構成する。

請求項（抜粋）：

投影露光を行う装置であって、露光用の光源(6)と該光源(6)からの光を反射し集光させる楕円鏡(7)とを内部に有する光源ハウス(5)が、換気されるようになっており、該換気の空気吸入口に空気清浄剤(1)を配置してあることを特徴とする投影露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03B 27/32 , G03B 27/54 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L , H01L 21/30 311 S

引用特許：

審査官引用 (1件)

縮小投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-086734 出願人：菊池嘉文

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