特許
J-GLOBAL ID：200903007128539492
感光性樹脂組成物
発明者：
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,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-296805
公開番号（公開出願番号）：特開2001-117227
出願日： 1999年10月19日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 耐現像液性、耐サンドブラスト性、ハンドリング性、保存性、レジスト剥離性等に優れた感光性樹脂組成物を提供すること。【解決方法】 カルボキシル基含有ウレタン(メタ)アクリレート系化合物(A)、共重合成分として特定化合物を50重量%以上含有する高分子化合物(B)及び光重合開始剤(C)、好ましくは更に特定のウレタンアクリレート系化合物(D)を含有してなる感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
カルボキシル基含有ウレタン(メタ)アクリレート系化合物(A)、共重合成分として下記一般式(1)で示される化合物(b1)を50重量%以上含有する高分子化合物(B)及び光重合開始剤(C)を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】ここで、R′は水素又はメチル基で、kは10〜22の整数である。
IPC (10件)：
G03F 7/027 513
, C08F 2/44
, C08F 2/50
, C08F299/06
, C08G 18/65
, C08G 18/67
, G03F 7/004 512
, G03F 7/028
, G03F 7/033
, H05K 3/28
G03F 7/027 513
, C08F 2/44 C
, C08F 2/50
, C08F299/06
, C08G 18/65 D
, C08G 18/67
, G03F 7/004 512
, G03F 7/028
, G03F 7/033
, H05K 3/28 D
2H025AA00
, 2H025AA02
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC66
, 2H025BC85
, 2H025CA00
, 2H025CB14
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 4J011PA69
, 4J011PB40
, 4J011PC02
, 4J011QB24
, 4J011QC07
, 4J011RA03
, 4J011SA01
, 4J011SA16
, 4J011SA17
, 4J011SA21
, 4J011SA25
, 4J011SA31
, 4J011SA34
, 4J011SA39
, 4J011SA41
, 4J011SA51
, 4J011SA54
, 4J011SA64
, 4J011SA78
, 4J011SA83
, 4J011UA01
, 4J011VA01
, 4J011WA01
, 4J027AG02
, 4J027AG03
, 4J027AG04
, 4J027AG05
, 4J027AG12
, 4J027AG14
, 4J027AG23
, 4J027AG24
, 4J027AG27
, 4J027AG28
, 4J027CA03
, 4J027CB10
, 4J027CC05
, 4J027CD10
, 4J034BA08
, 4J034CA03
, 4J034CA04
, 4J034CA21
, 4J034CB04
, 4J034CB08
, 4J034DC50
, 4J034DF01
, 4J034DF02
, 4J034DG01
, 4J034DG03
, 4J034DP02
, 4J034DP12
, 4J034DP18
, 4J034GA06
, 4J034HA01
, 4J034HA06
, 4J034HA07
, 4J034HC02
, 4J034HC03
, 4J034HC12
, 4J034HC17
, 4J034HC22
, 4J034HC71
, 4J034HC73
, 4J034JA41
, 4J034LA13
, 4J034QA05
, 4J034RA13
, 4J034RA19
, 5E314AA27
, 5E314AA38
, 5E314CC15
, 5E314FF27
, 5E314GG24
