特許

J-GLOBAL ID：200903007143040658

透過膜厚計測装置及びそれを備えた製膜装置

発明者： 笹川 英四郎 ,  宮園 直之 ,  上野 茂一 ,  黒田 雅博
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 藤田 考晴 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-257886
公開番号（公開出願番号）：特開2003-065727
出願日： 2001年08月28日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 基板上に施された製膜の膜厚を自動的に迅速且つ容易に計測し、迅速に不良基板を発見して高品質な太陽電池等の基板を製作することが可能な透過膜厚計測装置及びそれを備えた製膜装置を提供すること。【解決手段】 計測対象である基板Xの面を挟んで対向配置された光源と受光用素子とを備え、該光源は蛍光灯から構成される光源ユニット2とされ、受光用素子は複数のフォトトランジスタ3とした。基板Xは搬送ライン6を移動し、各基板位置センサ7,8によって移動を感知されながら計測部5を通過する際に製膜Xfの計測が行われる構成とした。

請求項（抜粋）：

基板に施された製膜を計測する透過膜厚計測装置であって、前記基板の面を挟んで対向配置された光源と受光用素子とを備えてなることを特徴とする透過膜厚計測装置。

IPC (6件)：

G01B 11/06 101 ,  C23C 14/54 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/66 ,  H01L 31/04

FI (7件)：

G01B 11/06 101 Z ,  C23C 14/54 E ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/66 P ,  H01L 31/04 V ,  H01L 31/04 K

Fターム (42件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB15 ,  2F065BB17 ,  2F065CC31 ,  2F065FF46 ,  2F065GG03 ,  2F065GG16 ,  2F065GG22 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ15 ,  2F065PP15 ,  4K029BC08 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  4K029KA01 ,  4K029KA03 ,  4K030AA06 ,  4K030BA30 ,  4K030GA12 ,  4K030GA14 ,  4K030HA13 ,  4K030JA01 ,  4K030KA39 ,  4K030LA16 ,  4M106AA10 ,  4M106BA04 ,  4M106CA48 ,  4M106DH03 ,  4M106DH12 ,  4M106DJ04 ,  5F045AA08 ,  5F045AB04 ,  5F045DP23 ,  5F045EN04 ,  5F045GB13 ,  5F051CA15 ,  5F051CA21 ,  5F051KA10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 薄膜の評価方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-237549   出願人：松下電池工業株式会社