圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人第一国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-276477
公開番号（公開出願番号）：特開2005-037310
出願日： 2003年07月18日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：

【課題】気密性が優れ、ホルダと蓋部材との接合を強固にした圧力センサを提供する。【解決手段】受けた圧力に応じた電圧信号を出力する半導体圧力センサ素子21を取付けたホルダ1と、半導体圧力センサ素子21に接続されるリード部材23を固定するコネクタケース3と、絶縁油を充填する圧力検出室6をホルダ1とで形成するダイヤフラム4と、圧力導入管51を取付けた金属製の蓋部材5とを備える圧力センサにおいて、ホルダ1は、金属製であるとともに、圧力検出室6と外部とをむすぶ貫通孔12と貫通孔12を塞ぐ封止部材27とを有し、コネクタケース3は、貫通孔12に連通して封止部材27を挿入する挿入孔31を有し、ダイヤフラム4は、金属製のホルダ1と金属製の蓋部材5とで挟持され固着されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

受けた圧力に応じた電圧信号を出力する半導体圧力センサ素子を取付けたホルダと、半導体圧力センサ素子に電気的に接続されるリード部材を固定するコネクタケースと、絶縁油を充填する圧力検出室をホルダとで形成するダイヤフラムと、圧力導入管を取付けた金属製の蓋部材とを備える圧力センサにおいて、前記ホルダは、金属製であるとともに、圧力検出室と外部とをむすぶ貫通孔と該貫通孔を塞ぐ封止部材とを有し、前記コネクタケースは、前記貫通孔と連通して封止部材を挿入する挿入孔を有し、前記ダイヤフラムは、前記金属製のホルダと前記金属製の蓋部材とで挟持され固着されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L19/14 , G01L9/00 , H01L29/84

FI (3件)：

G01L19/14 , G01L9/00 301Z , H01L29/84 B

Fターム (16件)：

2F055AA40 , 2F055CC60 , 2F055DD20 , 2F055EE40 , 2F055FF43 , 2F055GG25 , 2F055HH08 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA07 , 4M112CA13 , 4M112EA11 , 4M112FA20 , 4M112GA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第3198773号公報
二重ダイヤフラム式半導体圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-315694 出願人：富士電機株式会社

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