光変調器及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-071010
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271844
出願日： 1995年03月29日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】変調帯域を改善し、より高速な伝送を行なうことができる光変調器、及びその光変調器を製造できる製造方法を提供すること。【構成】基板11には単一モード光導波路12(13、14)が形成されており、その上にバッファ層17を介して電極3が設けてある。電極3は、信号電極15とアース電極16からなり、それぞれ導波路(13、14)にかかっている。信号電極15は多段に積層され、かつ上段ほど電極幅が広くなるよう形成されている。一方アース電極は、信号電極との間隔を信号電極の幅と所定の比を保持して形成されている。これにより、信号電極の断面積が拡大して伝搬損失を低減し、変調電圧を高くせず、より高速な伝送を行なわせることができる。製造方法は、フォトグラフィー工程及びメッキ工程を繰り返し行なうこととした。

請求項（抜粋）：

電気光学効果を有する基板と、該基板上に形成された光導波路と、該光導波路に対応させて前記基板上に形成された制御用電極からなる光変調器において、前記制御用電極を厚み方向に多段に構成したことを特徴とする光変調器。

引用特許：

審査官引用 (2件)

導波形光デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-085819 出願人：日本電気株式会社
特開昭63-261219

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