特許
J-GLOBAL ID:200903007193775330

マルチビーム露光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-272390
公開番号(公開出願番号):特開2006-085072
出願日: 2004年09月17日
公開日(公表日): 2006年03月30日
要約:
【課題】 2次元光変調器等の複数の画素を選択的にon/offする手段を用いて、FMスクリーンを用い安定して中間調を記録できるマルチビーム露光装置を提供する。【解決手段】 露光ヘッドに設置した光源から記録媒体の露光面上に至る光路上におけるレンズ系の結像位置と略共役関係となる位置で光路上の平行光束となる位置に、小径化手段を配置し、露光ビームスポットBSを走査方向に扁平となる如く小形化する。これによって、1ドットを形成する各ビームスポットBSにおける走査方向両側の露光量分布のエッジ部をシャープ(急峻)にし、このエッジ部の長手方向両側を走査方向に沿う状態で露光処理を行う。この露光ヘッドでは、記録媒体の発色閾値の変動やレーザビームの強度変動等の影響を受けないようにして走査方向と直交する方向に対する画像むらが好適に抑制し、FMスクリーンを用い安定して中間調を表現するよう記録できる。【選択図】 図8
請求項(抜粋):
記録媒体の露光面上を、複数の画素を選択的にon/offする手段で変調された複数の露光ビームスポットを投影して走査する露光ヘッドにより露光するマルチビーム露光装置において、 前記露光ヘッドに設置した光源から前記記録媒体の露光面上に至る光路上におけるレンズ系の結像位置と略共役関係となる位置で光路上の平行光束となる位置に配置された、露光ビームスポットを走査方向に扁平となる如く小形化する小径化手段を設けたことを特徴とするマルチビーム露光装置。
IPC (4件):
G03F 7/20 ,  G02B 26/10 ,  B41J 2/44 ,  H04N 1/113
FI (5件):
G03F7/20 511 ,  G02B26/10 B ,  G02B26/10 G ,  B41J3/00 D ,  H04N1/04 104Z
Fターム (27件):
2C362AA21 ,  2C362AA38 ,  2C362BA67 ,  2C362BA68 ,  2C362BA82 ,  2C362BA84 ,  2C362BA90 ,  2H045AG09 ,  2H045BA22 ,  2H045BA32 ,  2H097AA03 ,  2H097BA02 ,  2H097GB04 ,  2H097LA03 ,  5C072AA03 ,  5C072BA17 ,  5C072DA02 ,  5C072DA04 ,  5C072DA08 ,  5C072DA19 ,  5C072DA21 ,  5C072HA02 ,  5C072HA06 ,  5C072HA14 ,  5C072HB08 ,  5C072HB10 ,  5C072HB15
引用特許:
出願人引用 (1件)

前のページに戻る