特許
J-GLOBAL ID：200903007224118619
セラミックス材その他の硬質脆性材料の粗面化方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-109178
公開番号（公開出願番号）：特開2002-308682
出願日： 2001年04月06日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：
【要約】【課題】 化学的手段により炭化物、窒化物、ホウ化物、ケイ化物、酸化物等のセラミックス材その他の硬質脆性材料からなる表面層の粗面化を図った場合においても欠けや割れが発生することがない粗面化を実現できる。【解決手段】 たとえばセラミックス材等の表面に反応性ガスを流し、温度、圧力およびガス流量等を調節することにより表面反応を制御し、所望の粗面化状態が得られるものであり、前記処理空間は、700°C以上の高温空間若しくはプラズマ若しくは光照射により生成される活性化空間であり、又前記反応性ガスとしてハロゲンガスあるいはハロゲン化水素を用いることが望ましい。
請求項（抜粋）：
セラミックス材その他の硬質脆性材料の粗面化方法において、前記硬質脆性材料の表面にハロゲンガス又はハロゲン化水素その他の反応ガスを接触させて化学的に粗面化することを特徴としたセラミックス材その他の硬質脆性材料の粗面化方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
4K031AA08
, 4K031BA02
, 4K031EA10
