特許
J-GLOBAL ID：200903007226903453
電子線装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-176237
公開番号（公開出願番号）：特開平11-025895
出願日： 1997年07月01日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 半導体試料を低加速電圧で高分解能観察すること、特に試料を大角度傾斜したときでも高分解能観察すること。【解決手段】 電磁レンズ3とウェーハ5の間に大角度傾斜可能なコニカルな形状をした電極4を配置し、この電極4にウェーハ5と同じバイアス電圧をかけて、アースした磁極との間に減速電界を形成して収差係数を低減する。ウェーハ5と電極4が同電位なので、傾斜しても非点収差の原因となる非対称電界は生じない。傾斜しない時には、電極4もアース電位で使用して減速電界をウェーハ5に接近させることにより収差係数をさらに低減させて観察をおこなう。
請求項（抜粋）：
電子線源と電子線を集束するための電磁レンズからなる電子線装置において 、前記電磁レンズと試料の間に該試料の傾斜が可能な形の小さな電極を配置し、試料と電極の電圧を同電位にすることで傾斜に伴う非対称電界が発生しないようにしたことを特徴とする電子線装置。
IPC (3件)：
H01J 37/141
, H01J 37/28
, H01L 21/66
H01J 37/141 Z
, H01J 37/28 B
, H01L 21/66 J
