クリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-216521
公開番号（公開出願番号）：特開平8-058916
出願日： 1994年08月17日
公開日（公表日）： 1996年03月05日
要約：

【要約】【目的】収容室2に対してウエーハ3を搬入および搬出する際に、収容室2に充満する保管用ガスの濃度の低下を防止することによって、搬入および搬出後における収容室2への保管用ガスの供給を不要にし、保管用ガスの供給時間の削減により生産性を一層向上させる。【構成】複数に区分された収容室2に保管用ガスを充満させながらウエーハ3を保管するクリーンルーム用ストッカ1に対してウエーハ3を搬入および搬出するものである。各収容室2に対応するクリーンルーム用ストッカ1の壁面に接合して機密状態のロードロック室11を形成する筒体7と、ロードロック室11に保管用ガスを供給するガス供給孔7aやガス配管30等と、収容室2およびロードロック室11間におけるウエーハ3の搬送に使用されるウエーハ搬送装置13とを有している。

請求項（抜粋）：

複数に区分された収容室に保管用ガスを充満させながら保管対象物を保管するクリーンルーム用ストッカに対して保管対象物を搬入および搬出するものであり、上記各収容室に対応するクリーンルーム用ストッカの壁面に接合して機密状態のロードロック室を形成する筒体と、上記ロードロック室に保管用ガスを供給するガス供給手段と、上記収容室および上記ロードロック室間において保管対象物を搬送する搬送手段とを有していることを特徴とするクリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置。

IPC (3件)：

B65G 1/00 521 , B65G 49/00 , B65G 49/07

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-023109
特開平4-206547
クリーン搬送方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-177803 出願人：テイーデイーケイ株式会社

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