特許

J-GLOBAL ID：200903007236280381

ダイアフラムの製造方法およびダイアフラム板

発明者： 岩 田 裕 司 ,  安 藤 充 宏 ,  水 野 智 公 ,  入 佐 耕 一 ,  成 瀬 好 廣
出願人/特許権者： 株式会社アイシン・コスモス研究所
代理人 (1件)： 杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-039828
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248062
出願日： 1994年03月10日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】 ダイアフラムの膨出/縮退ストロ-クを大きくする。【構成】 次の工程を含むダイアフラムの製造方法:A.ダイアフラム原板の表面のダイアフラム形成領域に窪みを形成する工程;B.少くとも前記窪み領域を含む表面にダイアフラム層を形成する工程;および、C.ダイアフラム原板の前記窪み領域に対向する領域に、前記ダイアフラム層で表面側が閉じられダイアフラム原板の裏面に開いた空間を形成する工程。

請求項（抜粋）：

次の工程を含むダイアフラムの製造方法:A.ダイアフラム原板の表面のダイアフラム形成領域に窪みを形成する工程;B.少くとも前記窪み領域を含む表面にダイアフラム層を形成する工程;および、C.ダイアフラム原板の前記窪み領域に対向する領域に、前記ダイアフラム層で表面側が閉じられダイアフラム原板の裏面に開いた空間を形成する工程。

IPC (3件)：

F16J 3/02 ,  F04B 43/02 ,  H01S 3/07

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平2-133968
  
• ダイアフラム利用センサを製造する方法及びそれを使用して構成される装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-046411   出願人：ハネウエル・インコーポレーテッド
• 光導波路駆動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-343267   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平4-041120
  
• 特開平4-290679