特許
J-GLOBAL ID：200903007284664680
圧電素子の周波数調整方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-171806
公開番号（公開出願番号）：特開平7-030355
出願日： 1993年07月12日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、圧電素子と放電電極との間に局所的なプラズマを発生させ、前記圧電素子の表面をエッチングすることにより、圧電素子の周波数特性を損なう事なく、また、周波数調整装置の稼働率よく周波数調整することを実現する。【構成】 本発明は電気陰性度の大きなガス、または不活性ガス雰囲気内で、放電電極に電力を供給して被処理材をエッチングするドライエッチング方法を用いて、前記放電電極と20mm以下の距離に配置した圧電素子との間に局所的なプラズマを発生させ、前記プラズマの発生した部分に主としてエッチングを行い、周波数を調整することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
真空排気されたチャンバー内にハロゲン等電気陰性度の高いガスを導入し、前記チャンバー内に設けた放電電極に高周波を印加しながら圧力、ガス流量、高周波電力、前記放電電極と被処理材の距離等を制御し局所的なプラズマを発生させ、主としてプラズマの発生した部分にエッチングを行う技術を用いて、前記放電電極と20mm以下の距離に配置したウェハーからダイシングされた圧電素子との間にプラズマを発生させエッチングする事によりチップごと個別に周波数を調整することを特徴とする圧電素子の周波数調整方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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