半導体レーザデジタル振動計測装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井ノ口壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-064663
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244160
出願日： 1994年03月08日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】速い変化をする振動変位が低周波振動変化に重畳している場合でも、正確な測定ができ、周波数範囲の広い高周波非周期振動を測定することを可能とする。【構成】本発明による半導体レーザデジタル振動計測装置は、レーザ発振周波数が固定された半導体レーザ1と、駆動回路10と、半導体レーザ射出光を対象物3に照射し、その反射光の一部が前記半導体レーザに結合するように配置された光学装置2と、対象物の振動変位に関係して生ずる半導体レーザの出力の変化を検出する受光素子4と、受光素子出力から信号成分を増幅する回路5と、自動振幅制御回路6の出力のドップラービート波の1波ごとに正または負の振動変位に応じてアップまたはダウンカウント用信号を発生するカウント用信号発生回路7と、カウント用信号発生回路からのパルスを計数するバイナリーカウンタ8の計数値から振動変位を演算する演算処理回路9から構成されている。

請求項（抜粋）：

半導体レーザを用いて振動する物体の変位を測定する半導体レーザデジタル振動計測装置であって、レーザ発振周波数が固定された半導体レーザと、前記半導体レーザに電流を供給する駆動回路と、前記半導体レーザの射出光を対象物に照射し、その反射光の一部が戻り光として前記半導体レーザに結合するように配置された光学装置と、前記対象物の振動変位に関係して生ずる半導体レーザの出力の変化を検出する受光素子と、前記受光素子出力から信号成分を増幅する回路と、前記増幅回路の出力の振幅を一定に保つ自動振幅制御回路と、前記自動振幅制御回路出力のドップラービート波の1波ごとに正または負の振動変位に応じてアップまたはダウンカウント用信号を発生するカウント用信号発生回路と、前記カウント用信号発生回路からのパルスを計数するバイナリーカウンタと、前記バイナリーカウンタ回路の計数値を記憶し前記振動変位を演算する演算処理回路とから構成した半導体レーザデジタル振動変位計測装置。

引用特許：

出願人引用 (11件)

特開平2-112784
特開平1-233371
特開平2-201165

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審査官引用 (6件)

特開平2-201165
特開平2-112784
特開平1-233371

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