蒸着方法および蒸着装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148338
公開番号（公開出願番号）：特開平10-330920
出願日： 1997年06月05日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：

【要約】【課題】生産性に優れた有機材料の蒸着方法および蒸着装置を提供する。【解決手段】真空中において、有機材料の粉体を加熱部に連続的に供給する工程と、該有機材料の粉体を加熱し気化する工程と、該気化された該有機材料を基体の表面に堆積させる工程と、を包含する蒸着方法。

請求項（抜粋）：

有機材料の粉体を加熱部に連続的に供給する工程と、該有機材料の粉体を加熱し気化する工程と、該気化された該有機材料を基体の表面に堆積させる工程と、を包含し、該供給工程と、該気化工程と、該堆積工程とは真空中で行われる蒸着方法。

IPC (2件)：

C23C 14/24 , C23C 14/12

FI (3件)：

C23C 14/24 D , C23C 14/24 V , C23C 14/12

引用特許：

出願人引用 (7件)

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審査官引用 (6件)

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